第６４番札所 前神寺 役小角（えんのおづぬ）が石鎚山で修行を積んだのち、蔵王権現となって現れた阿弥陀如来と薬師如来を彫って祀ったことに始まった。

第６３番札所 吉祥寺 弘法大師がとおりかかると光り輝く檜を見つけたので、即座にその檜で毘沙門天を刻んで本尊にして創建した。

第６２番札所 宝寿寺 聖武天皇の勅願により伊予国一宮の法楽所（経を上げるところ）として建てられた。 弘法大師が石鎚山に向かう途中、光明皇后を模して十一面観世音菩薩を刻み、本尊としたことから霊場になった。

第６１番札所 香園寺 香園寺（こうおんじ）は、用明天皇の病気平癒を祈願して聖徳太子が建立した。 この時、太子の前に現れた翁が大日如来を安置したと伝わる。

第６０番札所 横峰寺 役小角（えんのおづぬ）が星ヶ森で修行をしていると、石鎚山頂に蔵王権現が現れた。 その姿を石楠花の木に刻んで小堂に安置したのがはじまりという。

第５９番札所 国分寺 聖武天皇の勅願により全国に建立された国分寺の一つで、７４１年に建てられた。

第５８番札所 仙遊寺 天智天皇の勅願で国守の越智守興（おちもりおき）が建立した。

第５７番札所 栄福寺 この付近の瀬戸内海で海難事故が多いと聞きおよんだ弘法大師は、府頭山で風波海難の平穏を祈願して護摩供養を行った。

第５６番札所 泰山寺 かつて、梅雨の時期になると毎年のように氾濫していた蒼社川に村人は苦しんでいた。 弘法大師はこれに堤防を築き、その満願の日に本尊を刻んで寺を建立した。